成都高新區食用生物制品研究所

行業: 新技術(專利)
階段: 種子期
地域: 四川省 成都市
融資方式: 股權融資(200萬)
尋找: 風險投資、天使投資人
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項目簡介

你好!我有高新技術推薦你們;
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目前國內有幾十條芯片大型生產線可以130、120、110nm生產線,由于國外的光刻機禁運或價格太高,沒有機會升級。國產芯片為了降低成本可以在光刻機領域給芯片企業推一把力,開發國產光刻光源,使130、120、110nm生產線能夠作出90、60nm的能力。深度開發還能生產40nm\20nm的芯片。在芯片領域要有后來居上的競爭能力,就要光刻工藝趕超別人才能大大降低芯片成本。目前中國沒有獨立知識產權的極紫外線光源用于光刻機。國外不是禁運,就是高價。
摘要
本發明提供一種極紫外光20nm~40nm光譜發生器。本發明紫外光20nm~40nm光譜發生器包括產生攝氏溫度1.4萬度至2.4萬度高溫的等離子體噴嘴2,等離子體導電極導氣孔3,高純石英玻璃殼12,聚光反射腔9等共25種零件構成(參見說明書摘要附圖1)。本發明光譜發生器在工作時等離子體的溫度在1.4萬℃~2.4萬℃之間,釋放出較多能量的極紫外光20nm~40nm的光譜,可用于超大規模集成電路用于線寬≤20nm的光刻工藝,并能用于納米級顯微鏡的光
法律狀態
申請(專利)號: CN200410021728.9 授權公告號: ||||||
法律狀態公告日: 2009.07.15|||2007.04.18|||2004.12.29 法律狀態類型: 發明專利申請公布后的視為撤回|||實質審查的生效|||公開
希望你們資助合作研發出產品,可以降低芯片產品制造成本提高公司競爭力,可以升級原有老設備的使用周期。面談。以前沒有想到與你們推薦。
極紫外光20NM~40NM光譜發生器.pdf
摘要
申請專利號: CN200410021728.9 申請日: 2004.02.02
公開號: CN1558264A 公開日: 2004.12.29
當前法律狀態: 撤回 有效性: 無權
法律詳情: 發明專利申請公布后的視為撤回|||實質審查的生效|||公開
IPC分類號: G02B27/00; G03F7/20; G02B21/00 主分類號: G02B27/00; G03F7/20; G02B21/00
申請人: 成都高新區食用生物制品研究所;
發明人: 何安成; 王明清
地址: 610041四川省成都市高新區創業路2號
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